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XY轴结构，树脂上凹槽尺寸20μm
激光直写成像(LDI)常识
LDI与成像绘图有关，使用大功率紫外线（UV）激光器直接曝光涂膜基材上的光刻胶，不是曝光摄影胶片，直接在印刷电路板（PCB）上成像电路。
长期以来，PCB行业一直使用基于聚合物掩模的光刻工艺与大型电阻涂层基片接触，但由于掩模和基片都会发生畸变，从而降低了特征分辨率，因此技术受到了限制。
LDI 优势：
● 无需处理摄像胶片和掩膜；
● 消除与掩模的扩大/收缩相关的问题；
● 主动补偿PCB中的失真；
● 支持快速转向和成像，通过CAD图纸直接写图案。
工业PCB有15层以上，LDI可以实现更小功能、更高密度和更多层数成像。新设备可以同时处理两面PCB。
过程通常被称为LDA（激光直接消融）和LDP（激光直接成形）。
LDI头部的核心是一个DMD（数字微镜器件），由微小的镜子组成，用激光产生所需的图案。
功能尺寸为20μm或更小，前后对准精度±5μm。
系统包括多个LDI头同时处理多个基片→多工作点应用。由于X轴扫描，这使得Yaw非常重要，通常约8arc sec或更好。
系统通常由XY轴移动工件，LDI头安装到龙门桥架上。在一些系统中，在龙门桥架上增加一个Y轴来移动LDI头。
常用移动轮廓：长轴扫描（下轴），短轴步进（上轴）。
文件输入是一个矢量图形文件，通常是Gerber，有些还接受像TIFF的位图格式。
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产品提供 |
用户提供 |
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XY轴运动台及定制系统 运动控制器及控制软件 校准文件 大理石基座及龙门桥架 大理石钢架、隔振 |
LDI 头 吸盘 基准/位置识别CCD，安装在LDI头旁边 应用程序软件 |
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用户关注点 |
解决方案 |
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需要良好的性能与多头系统 运动台Yaw指标精度要高 |
底轴宽体设计，提供Yaw指标 |
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步进轴的整定时间要快 (<0.1s) |
控制和结构上优化性能 |
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需要良好的速度稳定性，因为LDI头不使用同步位置输出功能 |
运动台速度稳定性 <0.1%@200mm/s |
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运动平台校准 |
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多工作点应用程序只能在一个工作点进行校准，需要在每个工作点验证性能 |
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通常Y轴步进 → X轴扫描识别基准变的非常重要（Yaw指标） |
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通常测试 （在Y轴中心）： ● X轴扫描在中心校准 （红线） ● 在轴中心校准 （红线）； ● Y轴移动分别到两端， 验证X轴的精度（黑线），Yaw值将在此验证。 |
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需要回答的问题: |
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运动台的负载和加工区域的大小? |
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使用了多少个LDI激光头? |
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在工艺区域范围内，运动系统的公差规范是什么? |
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会在Y轴步进后确定基准并重新计算Yaw吗? |
